對位機
Model: SAL-08
晶圓尺寸 / Wafer Size：≤ 200mm(8")
對位精度 / Accuracy of Alignment：≤±2.0um
工作台行程 / XYZ Travel：X:±5mm；Y:±5mm；Z:±3mm；θ:±3°
鏡頭行程 / XYZ Travel：X:±10mm；Y:±10mm；Z:±4mm；
光源 / Light Source：Visible，IR
對位方式 / Type of Alignment：Face to Back，Face to Face
