等離子活化機
Model: SPL-12

晶圓尺寸 / Wafer Size：≤ 300mm(12")
最大功率 / Power：200W
工作頻率 / Frequency：0~40kHz，300~500kHz
腔體真空 / Chamber Vacuum：9x10-2mbar (Option：5x10-5mabr)
製程氣體 / Gas：N2、O2、CF4、Ar
流量 / Flow Rate：1~100sccm

回上層